六氟化鎢

　　一、標識

　　中文名：六氟化鎢          英文名：Tungsten hexafluoride
　　分子式：WF6                分子量：297.8
　　CAS號：7783-82-6          危險性類別：第2.3類有毒氣體

　　二、理化性質

　　熔點：2.3      沸點：17.5      相對密度（水=1）：3.44

　　三、主要用途

　　在微電子工業和材料加工改性中，六氟化鎢用于離子注入或化學氣相沉積硅化鎢或鎢膜，用以制作低電阻、離熔點的電路互連線和柵極，還有抗X射線或γ射線的保護罩，高效太陽能吸收器。

　　三、運輸方式

　　包裝類別：Ⅱ                   包裝標志：6

　　四、儲運注意事項

　　儲存于陰涼、干燥、通風良好的不易燃庫房。遠離火種、熱源。防止陽光直射。防止受潮。與其他物品分開存放。平時要注意檢查容器是否有泄漏現象。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞、損壞。

　　五、泄漏處理

　　疏散泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，應急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿廠商特別的化學防護服（完全隔離）。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發（或擴散），但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內，抽排（室內）或強力通風（室外）。漏氣容器不能再用，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。